τχτyǔzんаǐωǔ.còм 二、Waferdefe(2 / 2)

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「我说,这个 ca色 你解不了。」女孩淡淡道。「跟我来吧!」

她的右手轻轻在士研背上一拍,士研只感到一阵晕眩,意识一下模糊起来,感觉机台渐渐变大,那个进货口变得像黑洞一样,就连晶圆传送的单位、晶舟(装晶圆的舟状物,一般都25片晶圆装在一个晶舟里,称为1 lot)都变得巨大无比,等他再清醒时,已在一道高墙之下。

「这是你刚刚长的氧化层,50a。」女孩指着高墙的顶端。(1a=10-10公尺,约一根头发的百万分之一)。

士研只能傻傻地点头,他根本高不清楚眼前发生了什麽事。要说他真的变小只剩 1a 的身高,他是死都不相信的。

女孩微微一笑,她可不管士研信不信,拉着他的手轻轻地飘到墙头,眼前是一大片平原,但有些地方坑坑洼洼地,像是一个个凹洞。

「你脚下就是刚刚长的二氧化矽,你看那些凹洞,像不像你在电子显微镜下看到的 defect?」女孩指着眼前不远的一个大洞。

士研肉肉眼睛,的确在电子显微镜下看到的就是这样一个个凹洞,大家想破脑袋都想不到这些凹洞到底是哪里来的。

「来。」女孩拉着士研走到凹洞处,只见里面趴着许多龟壳似的物t,有些还从壳里伸出粗短的四肢,正一口一口地啃着地面,形成更多更深的凹洞。

「这些是矽族,它们身体是矽,食物是二氧化矽,吃到身体里把二氧化矽变回矽,把氧排出,这就是它们的日常。这是一种无机生命t,跟你认识的生命形式完全不同。」女孩边说,边抓起其中一只,朝天空抛去,说也奇怪,矽族抛出後竟不落下,而是缓缓朝着天空飞去,慢慢消失不见。

「它们的成份跟你的晶圆一样,所以制程中的酸碱侵蚀对它们都不起作用,一旦出现在晶圆上,就会造成你看到的 defect,但这早已超出你们认知,所以通常都是悬案。」

士研试着拿起一只,往空中抛去,如果这样真的可以解决眼前的问题,他愿意把这些东西一只一只全部抛上天。

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